掩膜板檢測哪里可以做?檢測項目有哪些?檢測報告辦理費用是多少?百檢檢測中心擁有多年的掩膜板檢測的技術經(jīng)驗，可根據(jù)客戶的檢測要求制定科學的測試方法，并提供嚴謹?shù)臏y試報告，幫助客戶了解產(chǎn)品的技術參數(shù)。

　　檢測項目

　　平整度檢測、厚度檢測、表面缺陷檢測、微觀分析、化學成分分析等。

　　適用范圍

　　石英玻璃掩膜板、蘇打玻璃掩膜板、低膨脹玻璃掩膜板、透明樹脂掩膜板、硬質(zhì)遮光膜掩膜板、乳膠掩膜板、DUV掩膜、EUV掩膜等。

　　相關檢測標準

　　DIN 32566-2007 微型系統(tǒng)用生產(chǎn)設備.X射線光刻掩膜支持環(huán)用規(guī)范

　　IPC TM-650 5.5.6.2-1998 條紋焊料掩膜涂層標準測試模式

　　IPC TM-650 5.5.3.11-1998 標本G焊料掩膜

　　IPC TM-650 5.5.6.1-1998 焊料掩膜涂層標準測試模式

　　GOST 27716-1988 印刷電路板的光掩膜.一般技術條件

　　CSN 35 8971-1984 半導體器件.掩膜基件和掩膜.特征參數(shù)的測量方法

　　相關介紹

　　掩膜板產(chǎn)品的原材料和中間材料為玻璃基板、鍍鉻膜層、光刻膠、光學膜等，其中主要原材料為玻璃基板，按材質(zhì)可以分為石英基板和蘇打基板，石英基板使用石英玻璃作為材料，光學透過率高，熱膨脹率低，相比蘇打玻璃更為平整和耐磨，使用壽命長，主要用于高精度掩膜板。由于石英玻璃的優(yōu)良特性，未來其在掩膜板產(chǎn)品中的應用會更加廣泛。

　　檢測報告注意事項

　　1、報告無“研究測試專用章”或公章無效，報告無防偽二維碼無效;

　　2、復制報告未重新加蓋“研究測試專用章”或公章無效;

　　3、報告無主檢、審核、批準人簽字無效;

　　4、報告涂改無效;

　　5、對檢測報告若有異議，應于收到報告之日起十五日內(nèi)提出，逾期不予受理;